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適用於 iQDP、iH 和 iL 半導體真空幫浦的重建 Edwards im 介面模組 PN：A52844463

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為 iQDP、iH 和 & 重建 Edwards im 介面模組iL 半導體真空幫浦。

介面模組可讓您使用自己的控制設備來控制 iH、iL 或 iQ 乾泵系統的運作和狀態監控。

Edwards 介面模組設計用於與 Edwards iQ、iH 和 Edwards 搭配使用。 iL 乾泵系統，可讓您將泵浦系統連接到其他設備。例如，您的製程工具或其他控制設備。此模組有2個介面卡，工具介面卡和輔助介面卡。這是型號 A528-44-463R。 有關安裝、操作和維護說明，請參閱下方可下載的 .pdf 說明手冊。


Edwards_IQ_Interface_Module_Manual_A528-44-880.pdf (Edwards_IQ_Interface_Module_Manual_A528-44-880.pdf, 2,471 Kb) [下載]

Edwards-iQDP-Dry-Pump-Operating-Instructions.pdf (Edwards-iQDP-Dry-Pump-Operating-Instructions.pdf, 1,968 Kb) [下載]

Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf (Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf, 7,973 Kb) [下載]

Edwards_DRYSTAR_QDP-40_QDP-80_Operating_Instructions.pdf (Edwards_DRYSTAR_QDP-40_QDP-80_Operating_Instructions.pdf, 2,049 Kb) [下載]

Edwards_Qdp_iQDP40_80_PartsList.pdf (Edwards_Qdp_iQDP40_80_PartsList.pdf, 706 Kb) [下載]

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