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为 iQDP、iH 和 iL 半导体真空泵重建 Edwards im 接口模块 PN：A52844463

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为 iQDP、iH 和 iL 半导体真空泵重建 Edwards im 接口模块。 PN：A528-44-463

接口模块允许您使用自己的控制设备来控制 iH、iL 或 iQ 干式泵送系统的运行并监控其状态。

Edwards 接口模块专为与 Edwards iQ、iH 和 iL 干式泵送系统配合使用而设计，允许您将泵送系统连接到其他设备。例如，您的工艺工具或其他控制设备。该模块有 2 个接口卡，即工具接口卡和辅助接口卡。这是型号 A528-44-463R。 有关安装、操作和维护说明，请参阅下方可供下载的 .pdf 说明手册。


Edwards_IQ_Interface_Module_Manual_A528-44-880.pdf (Edwards_IQ_Interface_Module_Manual_A528-44-880.pdf, 2,471 Kb) [下载]

Edwards-iQDP-Dry-Pump-Operating-Instructions.pdf (Edwards-iQDP-Dry-Pump-Operating-Instructions.pdf, 1,968 Kb) [下载]

Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf (Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf, 7,973 Kb) [下载]

Edwards_DRYSTAR_QDP-40_QDP-80_Operating_Instructions.pdf (Edwards_DRYSTAR_QDP-40_QDP-80_Operating_Instructions.pdf, 2,049 Kb) [下载]

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