全新 MKS HPS 910 DualTrans Micropirani 绝对压电传感器 KF25 RS2832,显示屏,无继电器。PN:910-21024

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全新 MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 绝对压电传感器,KF25,RS485,显示,无继电器,PN 910-21024

MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/绝对压电真空传感器专为宽范围压力测量应用而设计,具有 NW25 ISO-KF 法兰接头。组合输出比传统热导率计具有更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。910 结合了两种压力测量技术,可提供卓越的性能和功能。910 提供独立于气体的绝对压力测量,范围从 11 到 1500 Torr,精度高于热导率传感器。与传统的皮拉尼压力表不同,MicroPirani 中的传感器元件由一平方毫米的硅片制成,因此可以在非常小的体积内进行测量。由于采用了 MicroPirani 技术,910 可以读取低至 10-5 Torr 的压力,比标准皮拉尼传感器低二十倍。传感器设计最大限度地减少了对流的影响,因此 910 可以以任何方向安装而不会影响精度。

Piezo 是一种绝对压力传感器,可直接读取压力,使测量不受气体影响。Piezo 传感器的测量范围从小于 1 Torr 到 1500 Torr。910 具有 RS232 数字通信接口,用于设置传感器参数并提供实时压力测量。910 还具有 1VDC/十倍的模拟压力输出,可与外部模拟设备连接以读取或控制压力。可以通过数字用户界面选择其他模拟输出和曲线。 910 有三个机械继电器,可用于过程控制,例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点都可以分配给压电测量或组合绝对 MicroPirani/Piezo 测量。910 紧凑的设计大大减少了真空计占用的空间。这对系统设计师来说特别有吸引力,并允许更紧凑的真空系统。注意:有关完整规格,请参阅下载侧的 .pdf。

910manual.pdf (910manual.pdf, 581 Kb) [下载]

MKS_910_1.pdf (MKS_910_1.pdf, 466 Kb) [下载]

910DS.pdf (910DS.pdf, 406 Kb) [下载]

910_pinOut.pdf (910_pinOut.pdf, 239 Kb) [下载]

900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [下载]

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