MKS 진공 센서 카드 캐패시턴스 마노미터 및 피에조, 시리즈 937B 및 946 컨트롤러용. PN: 100015267
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MKS 부품 번호: 100015267.
MKS 진공 센서 카드는 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러와 함께 커패시턴스 마노미터 및 피에조 센서를 지원합니다.
이 카드는 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에서 사용됩니다. 유량 설정점은 전면 패널 컨트롤을 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서 및 게이지를 동시에 판독 및 제어합니다.
이 카드는 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에서 사용됩니다. 유량 설정점은 전면 패널 컨트롤을 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서 및 게이지를 동시에 판독 및 제어합니다.
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