MKS T2BA 버터플라이 밸브, ISO100, 비밀봉(O-링 없음; 0.003" 방사형 갭), 비톤(바디 씰), RS232, Baratron용 센서 PS. PN: T2BA04N220303V210025

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MKS T2BA 버터플라이 배기 스로틀 밸브, ISO100, 비밀봉(O-링 없음; 0.003" 방사형 갭), 저전력 모터(8인치파운드), 105°C,
비톤(바디 씰), RS232, +/-15VDC 센서 전원 공급 장치(바라트론용).
MKS 부품 번호: T2BA04N220303V210025.

MKS T2BA 배기 스로틀 밸브는 간단하면서도 고급 압력 제어 시스템이 필요한 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. T2BA는 모든 제어, 통신 및 드라이버 회로를 스로틀 밸브 어셈블리에 통합하여 별도의 압력 제어 전자 모듈을 장착할 필요가 없습니다. 고유한 모델 기반 제어 알고리즘과 고속 작동은 최소한의 오버슈트로 시스템을 빠르게 설정 지점으로 구동하고, 작업자의 개입 없이 반복 가능한 프로세스 레시피를 보장합니다.

제품 특징:

컴팩트한 압력 제어 시스템 - 통합 온보드 컨트롤러 전자 장치가 있는 밸브
- 간편한 통합, 추가 케이블이나 랙 공간 필요 없음
고속 구성 가능(<250msec. 열림에서 닫힘으로)
- 더 빠른 설정점 및 유량 및 압력 교란으로부터의 복구
- 높은 도구 처리량 가능
선택 가능한 고토크 드라이브

혹독한 공정 조건에서 가동 시간 연장

범위 자동 전환 기능이 있는 듀얼 채널 Baratron® 센서 입력

광범위한 동적 압력 제어 범위 지원

높은 압력 제어 정확도 허용

고급 모델 기반 압력 제어 알고리즘

설정점까지의 시간 최소화

운영자가 개입하지 않고도 반복 가능한 공정 레시피를 보장합니다.

저전도도 소프트 실링 버전에서 사용 가능

저유량에서도 고압 공정을 지원합니다(Epi, RTP, SACVD 등)

"주택 배기" 또는 대기 응용 분야에 적합

연결된 Baratron 커패시턴스 매노미터에 전원을 공급합니다(선택 사항, 일부 모델)

T2BA 배기 스로틀 밸브는 플래퍼 위치 지정 또는 압력 제어의 두 가지 기본 모드로 작동할 수 있으며, 둘 다 I/O 인터페이스를 통해 사용자가 활성화할 수 있습니다. 모든 조정 가능한 설정 매개변수, 런타임 작동 및 진단 정보는 통신 인터페이스를 통해 제공됩니다. EtherCAT T2BA는 EtherCAT 매노미터와 완벽하게 호환됩니다. 아날로그 매노미터에는 게이트웨이가 필요합니다.

하류 압력 제어 기술은 광범위한 동적 범위를 제공하고 모든 유형의 펌프와 함께 작동하며 빠른 반응을 제공하며 대부분의 유출 가스에 대한 내성이 있습니다. "지능형 계측기" 개념은 귀중한 시스템 공간 절약, 향상된 노이즈 내성, 시간에 민감한 프로세스 및 교정 정보와 온보드 진단 기능에 대한 쉬운 액세스로 이어집니다.

T2BA는 직접 구동 고속 스테퍼 모터를 사용합니다. 밸브 드라이버는 고해상도 압력 제어를 제공합니다. 옵션인 고토크 직접 구동 모터는 가동 시간을 늘리고 예방적 유지 관리 주기를 연장합니다. 이는 단 1시간의 가동 중지 시간으로 인해 수천 달러의 비용이 발생할 수 있는 까다로운 프로세스에서 큰 이점입니다. T2BA는 기어 버전으로도 제공되어 최대 토크를 제공하고 혹독한 환경에서 장기간 작동할 수 있습니다. T2BA 밸브는 사용 가능한 MKS 외부 히터로 최대 200°C까지 가열할 수 있습니다(씰 재료의 적절한 선택이 필요함).

T2BA는 고유한 MKS 저전도도 버전으로 제공되어 O-링 기반 설계에 의존하지 않고도 대기압 제어, CVD 및 RTP를 포함한 대기 응용 분야에서 고속 압력 제어가 가능하며 밸브 전도도를 최소화합니다. 진단 목적으로 인코더 기반 위치 피드백 시스템이 제공됩니다. 밸브는 대부분 공정 가스와 호환되는 내식성 316 스테인리스 스틸로 제작되었으며 1인치에서 4인치까지의 보어 크기를 가진 표준 ISO 플랜지 스타일로 제공됩니다(맞춤형으로 대체 크기 제공). 제공되는 표준 씰은 Viton®이며, 다양한 공정 화학 및/또는 가열 응용 분야와의 호환성을 위해 대체 재료를 지정할 수 있습니다.

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MKS-T2BA-Butterfly-Valve-RS232_Manual.pdf (MKS-T2BA-Butterfly-Valve-RS232_Manual.pdf, 2,681 Kb) [다운로드]

Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf (Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf, 7,973 Kb) [다운로드]