MKS T2BA バタフライ バルブ、ISO100、非シール (O リングなし、0.003 インチ ラジアル ギャップ)、Viton (ボディ シール)、RS232、Baratron 用センサー PS。PN: T2BA04N220303V210025
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Viton (ボディ シール)、RS232、+/-15VDC センサー電源 (Baratron 用) 付き。
MKS 部品番号: T2BA04N220303V210025。
MKS T2BA 排気スロットルバルブは、シンプルでありながら高度な圧力制御システムが求められる用途向けに特別に設計されています。T2BA は、すべての制御、通信、およびドライバー回路をスロットルバルブ アセンブリ内に統合しているため、取り付けが不要です。独立した圧力制御エレクトロニクス モジュール。独自のモデルベースの制御アルゴリズムと高速動作により、システムは最小限のオーバーシュートで設定点に迅速に到達し、オペレーターの介入なしに繰り返し可能なプロセス レシピが保証されます。
T2BA 排気スロットル バルブは、フラッパー ポジショニングまたは圧力制御の 2 つの主要なモードで動作できます。どちらも、I/O インターフェイスを介してユーザーがアクティブ化できます。調整可能なセットアップ パラメータ、実行時の操作、および診断情報はすべて、通信インターフェイスを介して利用できます。EtherCAT T2BA は、EtherCAT マノメーターと完全に互換性があります。アナログ マノメーターにはゲートウェイが必要です。
下流圧力制御技術は、幅広いダイナミック レンジを提供し、あらゆるタイプのポンプで動作し、応答が速く、ほとんどの排出ガスに耐えます。「インテリジェント インストルメント」コンセプトにより、貴重なシステム スペースの節約、ノイズ耐性の向上、時間的に重要なプロセスおよびキャリブレーション情報やオンボード診断機能への容易なアクセスが実現します。
T2BA は、ダイレクト ドライブ高速ステッピング モーターを採用しています。バルブ ドライバーは高解像度の圧力制御を提供します。オプションの高トルク ダイレクト ドライブ モーターは、稼働時間を延長し、予防保守サイクルを延長します。これは、ダウンタイムが 1 時間だけでも数千ドルのコストがかかる厳しいプロセスで大きな利点となります。T2BA はギア付きバージョンも用意されており、最大トルクを提供し、過酷な環境での長期運用を可能にします。T2BA バルブは、オプションで MKS 外部ヒーターを使用して 200°C まで加熱できます (シール材料を適切に選択する必要があります)。
T2BA は、独自の MKS 低コンダクタンス バージョンで提供されており、排気圧制御、CVD、RTP などの大気圧アプリケーションでの高速圧力制御が可能で、O リング ベースの設計に頼ってバルブ コンダクタンスを最小限に抑える必要はありません。 診断用にエンコーダ ベースの位置フィードバック システムが提供されています。バルブは、ほとんどのプロセス ガスと互換性のある耐腐食性 316 ステンレス鋼で作られており、1 インチから 4 インチのボア サイズを持つ標準 ISO フランジ スタイルで提供されています (カスタム ベースで代替サイズも利用可能)。提供される標準シールは Viton® ですが、さまざまなプロセス ケミストリーや加熱アプリケーションとの互換性のために代替材料を指定することもできます。
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製品の特徴:
- コンパクトな圧力制御システム - オンボード コントローラ エレクトロニクスを統合したバルブ
- 簡単に統合でき、追加のケーブルやラック スペースは不要 - 高速構成も利用可能 (<250 ミリ秒)。開から閉まで）
- 設定点の高速化と流量および圧力の変動からの回復
- 高いツール スループットを実現 - 選択可能な高トルク ドライブ - 過酷なプロセス条件での稼働時間を延長
- 範囲自動切り替え機能付きデュアル チャネル Baratron® センサー入力 - 広い動的圧力制御範囲をサポート
- 高度なモデルベースの圧力制御アルゴリズム - 設定点までの時間を最小化
- 低コンダクタンス ソフト シーリング バージョンで利用可能 - 低流量でも高圧プロセスをサポート (Epi、RTP、SACVD など)
- 接続された Baratron 静電容量マノメーター (オプション、一部のモデル) に電力を供給します
- 高い圧力制御精度を実現
- オペレーターの介入なしに、繰り返し可能なプロセス レシピを保証します
- 「ハウス排気」または大気アプリケーションに適しています
T2BA 排気スロットル バルブは、フラッパー ポジショニングまたは圧力制御の 2 つの主要なモードで動作できます。どちらも、I/O インターフェイスを介してユーザーがアクティブ化できます。調整可能なセットアップ パラメータ、実行時の操作、および診断情報はすべて、通信インターフェイスを介して利用できます。EtherCAT T2BA は、EtherCAT マノメーターと完全に互換性があります。アナログ マノメーターにはゲートウェイが必要です。
下流圧力制御技術は、幅広いダイナミック レンジを提供し、あらゆるタイプのポンプで動作し、応答が速く、ほとんどの排出ガスに耐えます。「インテリジェント インストルメント」コンセプトにより、貴重なシステム スペースの節約、ノイズ耐性の向上、時間的に重要なプロセスおよびキャリブレーション情報やオンボード診断機能への容易なアクセスが実現します。
T2BA は、ダイレクト ドライブ高速ステッピング モーターを採用しています。バルブ ドライバーは高解像度の圧力制御を提供します。オプションの高トルク ダイレクト ドライブ モーターは、稼働時間を延長し、予防保守サイクルを延長します。これは、ダウンタイムが 1 時間だけでも数千ドルのコストがかかる厳しいプロセスで大きな利点となります。T2BA はギア付きバージョンも用意されており、最大トルクを提供し、過酷な環境での長期運用を可能にします。T2BA バルブは、オプションで MKS 外部ヒーターを使用して 200°C まで加熱できます (シール材料を適切に選択する必要があります)。
T2BA は、独自の MKS 低コンダクタンス バージョンで提供されており、排気圧制御、CVD、RTP などの大気圧アプリケーションでの高速圧力制御が可能で、O リング ベースの設計に頼ってバルブ コンダクタンスを最小限に抑える必要はありません。 診断用にエンコーダ ベースの位置フィードバック システムが提供されています。バルブは、ほとんどのプロセス ガスと互換性のある耐腐食性 316 ステンレス鋼で作られており、1 インチから 4 インチのボア サイズを持つ標準 ISO フランジ スタイルで提供されています (カスタム ベースで代替サイズも利用可能)。提供される標準シールは Viton® ですが、さまざまなプロセス ケミストリーや加熱アプリケーションとの互換性のために代替材料を指定することもできます。
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