MKS R 系列閘閥，ISO-F 100 真空法蘭，DN100，氣動，24 VDC 電磁閥，雙位指示開關，4 英吋內徑，氟橡膠密封件，螺栓連接不鏽鋼
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MKS R 系列閘閥ISO-F 100、DN100、氣動、24 VDC 電磁閥、雙位置指示器開關(N/O)、4 英吋內徑、氟橡膠密封件、
螺栓固定法蘭(M8 x 1.25) ，不鏽鋼機身。
這些 MKS R 系列閘閥針對半導體和一般真空應用中的低真空幫浦和低真空管線的隔離進行了最佳化。這些 R 系列閘閥非常適合低至 1x10-7 Torr 的高真空 (HV) 應用，並具有包括氣動和位置指示器在內的選項。 R 系列採用彈性體軸密封件作為致動器密封件，可為粗真空應用提供經濟高效、高價值的高性能套件。此清單適用於 ISO-100 螺栓固定式真空法蘭版本，並配有氣動式空氣致動器，包括 24 VDC 電磁閥和雙位置指示器開關（常開）。
產品特點：
產品配置：
螺栓固定法蘭(M8 x 1.25) ，不鏽鋼機身。
產品特點：
- 優異的溫度均勻性確保無冷點 內表面
- DN80 和 DN100 > 200,000 次循環
- DN160> 100,000 次循環
- 提供 DN80、DN100 和 DN160mm 尺寸
產品配置：
- 閥門孔徑/法蘭尺寸：DN100
- 材質：不鏽鋼
- 驅動方式：氣動
- 密封材質：Viton/FKM
- 限位開關：兩個開關皆為常開 (N/O)
- 磁簧開關：額定電流< 80毫安培
- 電磁閥：24 VDC
- 加熱選項：可加熱至 105°C
- 壓力範圍（高真空 HV）：1x10-7 至 1200 Torr (1.3* 10-10 - 1.6 bar)
- 氣壓：5.4 ±1.3 atm (80 ±20 psig)
- 執行器密封件：彈性體軸密封件 - Viton
- 側向洩漏率：1x10-9 atm*cc/sec
- 外部洩漏率：1x10-9 atm*cc/sec
- 最大壓力差 - 運轉：22.5 Torr (30 mbar) 室側高
- 最大壓力差 - 關閉：1.6 atm，任一方向
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