MKS R-시리즈 게이트 밸브, ISO-F 100 진공 플랜지, DN100, 공압, 24 VDC 솔레노이드, 이중 위치 표시기 스위치, 4인치 ID, 비톤 씰, 볼트 SS
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볼트 고정 플랜지(M8 x 1.25), 스테인리스 스틸 바디.
이러한 MKS R-시리즈 게이트 밸브는 반도체 및 일반 진공 응용 분야에서 러핑 펌프 및 러핑 라인의 격리에 최적화되었습니다. 이 R-시리즈 게이트 밸브는 1x10-7 Torr까지의 고진공(HV) 응용 분야에 적합하며 공압 및 위치 표시기를 포함한 옵션이 있습니다. R-시리즈는 액추에이터 씰에 엘라스토머 샤프트 씰을 사용하여 거친 진공 응용 분야에서 비용 효율적인 고가치 패키지로 고성능을 제공합니다. 이 목록은 24 VDC 솔레노이드 밸브와 이중 위치 표시기 스위치(일반적으로 열림)를 포함한 공압 공기 액추에이터가 있는 ISO-100 볼트 다운 진공 플랜지 버전에 대한 것입니다.
제품 특징:
제품 구성:
제품 특징:
- 뛰어난 온도 균일성으로 내부 표면에 차가운 지점이 없음
- DN80 및 DN100 > 200,000 사이클
- DN160 > 100,000 사이클
- DN80, DN100 및 DN160mm 크기 제공
제품 구성:
- 밸브 보어/플랜지 크기: DN100
- 재질: 스테인리스 스틸
- 절단: 공압
- 씰 재질: 비톤/FKM
- 리미트 스위치: 두 스위치 모두 정상 열림(N/O)
- 자기 리드 스위치: 전류 정격 < 80mA
- 솔레노이드: 24 VDC
- 가열 옵션: 105°C까지 가열 가능
- 압력 범위(고진공 HV): 1x10-7 ~ 1200 Torr(1.3* 10-10 - 1.6 bar)
- 공압: 5.4 ±1.3 atm(80 ±20 psig)
- 액추에이터 씰: 엘라스토머 샤프트 씰 - 비톤
- 측면 간 누출률: 1x10-9 atm*cc/초
- 외부 누출률: 1x10-9 atm*cc/초
- 최대 델타 압력 - 작동: 22.5 Torr(30 mbar) 챔버 측면 높음
- 최대 델타 압력 - 닫힘: 1.6 atm, 어느 방향이든
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