MKS R シリーズ ゲート バルブ、ISO-F 100 真空フランジ、DN100、空気圧、24 VDC ソレノイド、デュアル ポジション インジケーター スイッチ、4 インチ ID、Viton シール、ボルト締め SS
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ボルト締めフランジ (M8 x 1.25)、ステンレス スチール製ボディ。
これらの MKS R シリーズ ゲート バルブは、半導体および一般真空アプリケーションの両方で、粗引きポンプおよび粗引きラインの分離に最適化されています。これらの R シリーズ ゲート バルブは、1x10-7 Torr までの高真空 (HV) アプリケーションに適しており、空気圧およびポジション インジケーターなどのオプションがあります。 R シリーズは、アクチュエータ シールにエラストマー シャフト シールを採用しており、コスト効率に優れた高価値パッケージで、粗引き真空アプリケーション向けの高性能を実現します。このリストは、24 VDC ソレノイド バルブとデュアル位置表示スイッチ (通常開) を含む空気圧式エア アクチュエータを備えた ISO-100 ボルトダウン真空フランジ バージョンです。
製品の特徴:
製品構成:
製品の特徴:
- 優れた温度均一性により、内部表面にコールド スポットが発生せず
- DN80 および DN100 > 200,000 サイクル
- DN160 > 100,000 サイクル
- DN80、DN100、DN160mm のサイズをご用意
製品構成:
- バルブボア/フランジサイズ: DN100
- 材質: ステンレス鋼
- 作動: 空気圧
- シール材質: Viton/FKM
- リミットスイッチ: 両方のスイッチが通常開 (N/O)
- 磁気リードスイッチ: 電流定格 < 80mA
- ソレノイド: 24 VDC
- 加熱オプション: 105°C まで加熱可能
- 圧力範囲 (高真空 HV): 1x10-7 ～ 1200 Torr (1.3* 10-10 - 1.6 bar)
- 空気圧: 5.4 ±1.3 atm (80 ±20 psig)
- アクチュエータ シール: エラストマー シャフト シール - Viton
- サイド ツー サイド リーク レート: 1x10-9 atm*cc/sec
- 外部リーク レート: 1x10-9 atm*cc/sec
- 最大デルタ圧力 - 動作時: 22.5 Torr (30 mbar) チャンバー側高
- 最大デルタ圧力 -閉じた状態: 1.6 気圧、両方向
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