MKS HPS 974 QuadMag MicroPirani Piezo Cold Cathode Transducer KF40 RS-232, 10-10 ~ 1000 Torr. PN: 974-91020

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MKS HPS® 시리즈 974 QuadMag MicroPirani™ 피에조 콜드 캐소드 트랜스듀서, KF-40, RS-232.
MKS 부품 번호: 974-91020


974 QuadMag는 1x10-8에서 1500 Torr까지의 측정 범위를 제공하며 콜드 캐소드 반전 마그네트론, MicroPirani™ 및 피에조 차동 센서 기술을 결합합니다. 974는 진공 로드록 내에서 압력 측정을 위해 특별히 설계되었습니다. 로드록의 여러 압력 측정 장치를 대체할 수 있는 기능을 갖추고 있으며 대기압에서 10-8Torr까지의 절대 압력 측정과 대기압 전환 기능을 제공합니다. 이후 OEM은 간소화된 로드록 설계로 비용을 절감할 수 있습니다. 974는 로드록이나 절대 압력 측정과 대기압 전환 기능이 모두 필요한 모든 진공 챔버에서 사용할 수 있습니다. 시리즈 974 QuadMag에는 트랜스듀서 매개변수를 설정하고 실시간 압력 측정을 제공하기 위한 RS232 또는 RS485 디지털 통신 인터페이스가 있습니다.

974 QuadMag 트랜스듀서는 또한 압력 판독 또는 제어를 위해 외부 아날로그 장비에 인터페이스할 수 있는 0.5VDC/decade의 아날로그 압력 출력을 갖추고 있습니다. 다른 아날로그 출력 및 곡선은 디지털 사용자 인터페이스를 통해 선택할 수 있습니다. Series 974 QuadMag에는 프로세스 제어에 사용할 수 있는 최대 3개의 기계적 릴레이가 있으며, 예를 들어 연동 밸브 또는 펌프가 있습니다. 974 QuadMag 트랜스듀서는 사용자가 교체할 수 있는 콜드 캐소드 애노드 모듈을 갖추고 있어 트랜스듀서 전자 장치를 분해하지 않고도 쉽게 서비스할 수 있습니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 974 QuadMag를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.


  • 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS®는 등록 상표이고 MicroPirani™는 ©2009 MKS Instruments, Inc.의 등록 상표입니다. 모든 권리 보유.

    옵션, (PN) 부품 번호 및 가격: 새로운 MKS HPS® 시리즈 974 QuadMag MicroPirani™ 피에조 콜드 캐소드 트랜스듀서

    NW25 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수컷-릴레이 없음
    PN 974-21020, 2009 가격 $1295
    2 3/4" CF, RS-232, SUBD 15핀HD 수컷-릴레이 없음
    PN 974-71020, 2009 가격 $1365
    NW40 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수컷-릴레이 없음
    PN 974-91020, 2009 가격 $1325
    NW25 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수컷-릴레이 없음
    PN 974-22020, 2009 가격 $1295
    2 3/4" CF, RS-485, SUBD 15핀HD 수컷-릴레이 없음
    PN 974-72020, 2009 가격 $1335
    NW40 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수컷-릴레이 없음
    PN 974-92020, 2009 가격 $1275
    NW25 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이
    PN 974-21030, 2009 가격 $1305
    2 3/4" CF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이
    PN 974-71030, 2009 가격 $1375
    NW40 KF, RS-232, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이
    PN 974-91030, 2009 가격 $1315
    NW25 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수-3 릴레이
    PN 974-22030, 2009 가격 $1305
    2 3/4" CF, RS-485, SUBD 15핀HD 수컷-3 릴레이
    PN 974-72030, 2009 가격 $1395
    NW40 KF, RS-485, SUBD 15핀HD 수컷-3 릴레이
    PN 974-92030, 2009 가격 $1315
    ●모든 가격은 예고 없이 변경될 수 있음●
  • 974-MANUAL_2.pdf (974-MANUAL_2.pdf, 4,233 Kb) [다운로드]

    MKS-974-Cold-Cath-Transducer-Manual.pdf (MKS-974-Cold-Cath-Transducer-Manual.pdf, 3,227 Kb) [다운로드]

    971_pinOut.pdf (971_pinOut.pdf, 213 Kb) [다운로드]

    MKS-974-Cold-Cath-Transducer_DataSheet.pdf (MKS-974-Cold-Cath-Transducer_DataSheet.pdf, 1,037 Kb) [다운로드]

    900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [다운로드]

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