MKS HPS 974 QuadMag MicroPirani ピエゾ冷陰極トランスデューサー KF40 RS-232、10-10 ～ 1000 Torr。PN: 974-91020
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MKS 部品番号: 974-91020
974 QuadMag は、1x10-8 ～ 1500 Torr の測定範囲を提供し、冷陰極反転マグネトロン、MicroPirani™、ピエゾ差動センサー技術を組み合わせています。974 は、真空ロードロック内の圧力測定用に特別に設計されています。大気圧から 10-8Torr までの絶対圧力測定と大気圧切り替え機能により、ロードロック上の複数の圧力測定デバイスを置き換えることができます。その結果、OEM は簡素化されたロードロック設計でコストを削減できます。974 は、絶対圧力測定と大気圧切り替え機能の両方を必要とするロードロックまたは真空チャンバーで使用できます。シリーズ 974 QuadMag には、トランスデューサ パラメータの設定とリアルタイム圧力測定を行うための RS232 または RS485 デジタル通信インターフェイスがあります。
974 QuadMag トランスデューサには、圧力の読み取りまたは制御のために外部アナログ機器に接続できる 0.5VDC/10 のアナログ圧力出力もあります。その他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスから選択できます。シリーズ 974 QuadMag には、インターロック バルブやポンプなどのプロセス制御に使用できる最大 3 つの機械式リレーがあります。 974 QuadMag トランスデューサーには、ユーザーが交換可能な冷陰極陽極モジュールが搭載されており、トランスデューサーの電子機器を分解することなく簡単に保守できます。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーで 974 QuadMag を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。
974 QuadMag トランスデューサには、圧力の読み取りまたは制御のために外部アナログ機器に接続できる 0.5VDC/10 のアナログ圧力出力もあります。その他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスから選択できます。シリーズ 974 QuadMag には、インターロック バルブやポンプなどのプロセス制御に使用できる最大 3 つの機械式リレーがあります。 974 QuadMag トランスデューサーには、ユーザーが交換可能な冷陰極陽極モジュールが搭載されており、トランスデューサーの電子機器を分解することなく簡単に保守できます。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーで 974 QuadMag を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。
オプション、(PN) 部品番号および価格: 新製品 MKS HPS® シリーズ 974 QuadMag MicroPirani™ ピエゾ冷陰極トランスデューサ
NW25 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなし
PN 974-21020、2009 価格 $1295
2 3/4" CF、RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなし
PN 974-71020、2009 価格 $1365
NW40 KF、 RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなし
PN 974-91020、2009 価格 $1325
NW25 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなし
PN 974-22020、2009 価格 $1295
2 3/4" CF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなし
PN 974-72020、2009 価格 $1335
NW40 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなし
PN 974-92020、2009 価格1275 ドル
NW25 KF、RS-232、SUBD 15 ピン HD オス 3 リレー
PN 974-21030、2009 年価格 1305 ドル
2 3/4 インチ CF、RS-232、SUBD 15 ピン HD オス 3 リレー
PN 974-71030、2009 年価格 1375 ドル
NW40 KF、RS-232、SUBD 15 ピン HD オス 3 リレー
PN 974-91030、2009 年価格 1315 ドル
NW25 KF、RS-485、SUBD 15 ピン HD オス 3 リレー
PN 974-22030、2009 価格 1305 ドル
2 3/4" CF、RS-485、SUBD 15 ピン HD オス 3 リレー
PN 974-72030、2009 価格 1395 ドル
NW40 KF、RS-485、SUBD 15 ピン HD オス 3 リレー
PN 974-92030、2009 価格 1315 ドル
●すべての価格は予告なく変更されることがあります●
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