MKS HPS 910 DualTrans Micropirani 绝对压电传感器 KF16 RS485，10-5 至 1500 Torr 910-12030
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MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 绝对压电传感器，KF16，RS485，PN 910-12030
910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/绝对压电真空传感器专为宽范围压力测量应用而设计，具有 NW16 ISO-KF 法兰接头。与传统的热导率计相比，组合输出提供了更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。910 结合了两种压力测量技术，可提供卓越的性能和功能。910 提供独立于气体的绝对压力测量，范围从 11 到 1500 Torr，精度高于热导率传感器。与传统的皮拉尼压力表不同，MicroPirani 中的传感器元件由一平方毫米的硅片制成，因此可以在非常小的体积内进行测量。由于采用了 MicroPirani 技术，910 可以读取低至 10-5 Torr 的压力，比标准皮拉尼传感器低二十倍。传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此 910 可以以任何方向安装而不会影响精度。
Piezo 是一种绝对压力传感器，可直接读取压力，使测量不受气体影响。Piezo 传感器的测量范围从小于 1 Torr 到 1500 Torr。910 具有 RS485 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。910 还具有 1VDC/十倍的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以读取或控制压力。可以通过数字用户界面选择其他模拟输出和曲线。 910 有三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点都可以分配给压电测量或组合绝对 MicroPirani/Piezo 测量。910 紧凑的设计大大减少了真空计占用的空间。这对系统设计师来说特别有吸引力，并允许更紧凑的真空系统。
Piezo 是一种绝对压力传感器，可直接读取压力，使测量不受气体影响。Piezo 传感器的测量范围从小于 1 Torr 到 1500 Torr。910 具有 RS485 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。910 还具有 1VDC/十倍的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以读取或控制压力。可以通过数字用户界面选择其他模拟输出和曲线。 910 有三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点都可以分配给压电测量或组合绝对 MicroPirani/Piezo 测量。910 紧凑的设计大大减少了真空计占用的空间。这对系统设计师来说特别有吸引力，并允许更紧凑的真空系统。
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