MKS HPS 910 DualTrans Micropirani 絕對壓電感測器 KF16 RS232，10-5 至 1500 Torr
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MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 絕對壓電感測器，KF16，RS232，PN 910-11
HPS® 910 系列是一款雙感測器感測器，結合了 Pirani 的壓力測量技術
和具有集成電子控制電路的壓電。感測器測量範圍為 10-5 至 1,500 Torr。
Piezo 是一款直讀式絕對壓力感測器，可實現獨立於氣體的測量。這
感測器具有獨特的溫度補償功能，可在廣泛的測量範圍內實現高精度
範圍。 Piezo 的測量範圍為 10-1 至 1,500 Torr。
當壓力低於 10-2 Torr 時壓電。
與傳統的皮拉尼真空計不同，MicroPirani™ 中的元件由一毫米見方的矽製成
晶片，允許在非常小的體積內進行測量。傳統的皮拉尼感測器具有測量
範圍從 10-3 到大約 100 Torr，在 10 Torr 以上迅速失去靈敏度。由於感測尺寸
MicroPirani™ 的一部分非常小，其範圍低至 10-5 Torr。該設計最大限度地減少了影響
對流，因此可以在任何位置操作而不影響精度，以簡化
安裝。感測器包括一個按鈕調零控制，可在壓力低於時使用
10-5 托。
910 系列數位通訊允許透過主機即時進行所有調整和監控。 910 包括 RS485 或 RS232 通訊作為標準功能。 910 系列在公 15 針高密度 D-sub 連接器上提供 1 至 9 伏特直流類比輸出訊號。 感測器輸出在兩個感測器之間進行平滑處理，並在 5 至 15 時間內從兩個感測器讀取資料。 托爾範圍。 對於製程控制，910 具有三個獨立的繼電器設定點。可以設定設定點的特徵， 透過數位連接埠進行調整和監控。 與所有熱導率感測器一樣，MicroPiraniTM 對氣體類型敏感。壓電測量獨立 氣體類型。 910 提供數位洩漏偵測輸出，可測量差異讀數 介於 Piezo 和 MicroPirani™ 之間。這使得它成為定位媒體的簡單解決方案 真空系統中的細微洩漏。需要電源和顯示器的客戶可以使用本網站上出售的 PDR900 系列控制器的 910 DualTrans。有關完整的規格和操作信息，請參閱下面的可用下載。規格和價格如有變更，恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments, Inc. 的註冊商標。
選配、(PN) 零件號碼與定價：全新 MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 絕對壓電感測器 PN 910-11
ISO-KF NW 16，RS-232，
PN 910-11，2009 年售價 635 美元
ISO-KF NW 16，RS-485，
PN 910-12，2009 年售價 635 美元
4 VCR-F、RS-232、
PN 910-41，2009 年售價 665 美元
4 VCR-F、RS-485、
PN 910-42，2009 年售價 665 美元
8 VCR-F、RS-232、
PN 910-51，2009 年售價 670 美元
8 VCR-F、RS-485、
PN 910-52，2009 年售價 670 美元
所有價格如有更改，恕不另行通知。
910 系列數位通訊允許透過主機即時進行所有調整和監控。 910 包括 RS485 或 RS232 通訊作為標準功能。 910 系列在公 15 針高密度 D-sub 連接器上提供 1 至 9 伏特直流類比輸出訊號。 感測器輸出在兩個感測器之間進行平滑處理，並在 5 至 15 時間內從兩個感測器讀取資料。 托爾範圍。 對於製程控制，910 具有三個獨立的繼電器設定點。可以設定設定點的特徵， 透過數位連接埠進行調整和監控。 與所有熱導率感測器一樣，MicroPiraniTM 對氣體類型敏感。壓電測量獨立 氣體類型。 910 提供數位洩漏偵測輸出，可測量差異讀數 介於 Piezo 和 MicroPirani™ 之間。這使得它成為定位媒體的簡單解決方案 真空系統中的細微洩漏。需要電源和顯示器的客戶可以使用本網站上出售的 PDR900 系列控制器的 910 DualTrans。有關完整的規格和操作信息，請參閱下面的可用下載。
ISO-KF NW 16，RS-232，
PN 910-11，2009 年售價 635 美元
ISO-KF NW 16，RS-485，
PN 910-12，2009 年售價 635 美元
4 VCR-F、RS-232、
PN 910-41，2009 年售價 665 美元
4 VCR-F、RS-485、
PN 910-42，2009 年售價 665 美元
8 VCR-F、RS-232、
PN 910-51，2009 年售價 670 美元
8 VCR-F、RS-485、
PN 910-52，2009 年售價 670 美元
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