MKS Granville Phillips 307 真空計コントローラ用リモート コントロール入力出力モジュール。PN: 307012
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MKS Granville Phillips 部品番号: 307012
これはリモート入力出力モジュールであり、イオン ゲージ (IG) ステータス出力、リモート フィラメント オン/オフ、デガス オン/オフ、フロント パネル ロックアウト機能、および障害またはデガス ステータス表示リレーを提供します。このユーザー インストール モジュールのインストールについては、以下の 307 真空コントローラ取扱説明書.pdf の 19 ページを参照してください。ユーザー手順については、以下の 307 真空コントローラ取扱説明書.pdf の 27 ～ 29 ページを参照してください。 これはリモート入力出力モジュールのみであり、MKS Granville Phillips 307 コントローラ、ケーブル、アクセサリはこの Web サイトで別売りです。 MKS Granville Phillips 307 真空ゲージ コントローラ取扱説明書.pdf は、以下のダウンロードからダウンロードできます:
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