MKS Granville Phillips 프로세스 제어 모듈, 307 진공 게이지 컨트롤러용 6개 설정 포인트. PN: 307017
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MKS Granville Phillips 부품 번호: 307017
이것은 MKS Granville Phillips 공정 제어 모듈로 307 진공 게이지 컨트롤러에 단극, 복투 릴레이를 제공하며 (6개 디지털 설정점) 또는 내장 수동 오버라이드 스위치로 제어할 수 있습니다. 이 공정 제어 모듈에는 사용자가 선택할 수 있는 채널이 6개 있습니다. 처음 2개 채널은 이온 게이지에 할당됩니다. 채널 3과 4가 있는 경우 CGA 또는 TCA에 할당되고 5와 6은 CGB, TCB 또는 CMB에 할당됩니다. 스위치는 채널 1을 IG1, IG2 또는 둘 다에 할당하기 위해 제공되며 채널 2도 마찬가지입니다. 모든 6개 채널은 설정점 위 또는 아래에서 활성화하기 위한 선택 가능한 극성을 가지고 있습니다. 프로세스 제어 카드(모듈) 설치 절차는 사용 설명서.pdf의 16-27페이지를 참조하십시오. 사양 및 사용 절차는 사용 설명서의 5장을 참조하십시오. 이것은 프로세스 제어 카드 모듈(설정점 6개 포함) 전용이며, MKS Granville Phillips 307 컨트롤러, 케이블 및 액세서리는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. MKS Granville Phillips 307 진공 게이지 컨트롤러 사용 설명서.pdf는 아래 다운로드에서 다운로드할 수 있습니다.
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