MKS Granville Phillips 390 微离子计 ATM 模块，适用于 GP 830、835 VQM。2 个设定点，带显示屏，CF 2.75 英寸，390802-2-YG-T
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压力测量为 1x10-9 Torr。适用于真空质量监测器 (VQM) 830 或 835。 PN：390802-2-YG-T
此 390802 总压力微离子模块与
MKS Granville Phillips 真空质量监测系统 (VQM)
830 或 835 功率质谱计配合使用。VQM。
MKS Granville-Phillips Micro-Ion ATM 模块将成熟的 Micro-Ion 电离计技术与微型 Conductron 热损失传感器和两个压电电阻传感器相结合，提供从高真空到大气压的准确、连续的压力测量。 使用其隔膜传感器，该产品能够提供高达大气压的准确绝对压力以及真空室与环境压差的精确指示。独特的传感器设计消除了可能影响热损失传感器在较高压力下性能的热效应。这个小模块将所有四个传感器和控制电子设备组合成紧凑的模块化设计，减少了腔室所需的仪表数量并最大限度地减少了所需的空间。 全范围压力测量输出为单个模拟信号或通过可选的串行 RS-485 或 DeviceNet 数字接口提供。RS-485 和 DeviceNet 版本最多有三个可选设定点继电器可配置用于过程控制，能够将继电器分配到真空压力范围内的任何压力或特定的压差值。
优点包括：
• 从 1 x 10-9 高真空到大气压的连续压力测量。
• 大气压下的精密差压测量。
• 无需离散大气开关。
• 无需三个独立的传感器。
• 双电离计灯丝增加设备正常运行时间。
• 电离计激活和停用的自动化。
• 用于过程控制的可选设定点继电器。
• 可现场更换的仪表组件。
• 提供模拟、RS-485 或 DeviceNet 输出。
• 可选图形 LCD 显示屏。
对于不需要前面板显示和控制的应用，模块化真空计是理想的解决方案。这些紧凑、方便、可靠、节省成本的模块将控制电子设备直接安装在仪表上。全金属封装提供坚固的外壳和高水平的抗电噪声能力。Mini-Convectron 模块使用最新的电子技术来操作 MKS Granville-Phillips®Convectron® 仪表。Convectron 仪表已成为行业标准。它是热导率仪表的独特变体，压力测量基于传感器线的热损失率。与仅使用传导热损失的传统热电偶和皮拉尼仪表不同，Convectron 仪表利用了较高压力下对流造成的热损失。这将精确、可重复的测量范围扩展到大气。
MKS Granville-Phillips Micro-Ion ATM 模块将成熟的 Micro-Ion 电离计技术与微型 Conductron 热损失传感器和两个压电电阻传感器相结合，提供从高真空到大气压的准确、连续的压力测量。 使用其隔膜传感器，该产品能够提供高达大气压的准确绝对压力以及真空室与环境压差的精确指示。独特的传感器设计消除了可能影响热损失传感器在较高压力下性能的热效应。这个小模块将所有四个传感器和控制电子设备组合成紧凑的模块化设计，减少了腔室所需的仪表数量并最大限度地减少了所需的空间。 全范围压力测量输出为单个模拟信号或通过可选的串行 RS-485 或 DeviceNet 数字接口提供。RS-485 和 DeviceNet 版本最多有三个可选设定点继电器可配置用于过程控制，能够将继电器分配到真空压力范围内的任何压力或特定的压差值。
优点包括：
• 从 1 x 10-9 高真空到大气压的连续压力测量。
• 大气压下的精密差压测量。
• 无需离散大气开关。
• 无需三个独立的传感器。
• 双电离计灯丝增加设备正常运行时间。
• 电离计激活和停用的自动化。
• 用于过程控制的可选设定点继电器。
• 可现场更换的仪表组件。
• 提供模拟、RS-485 或 DeviceNet 输出。
• 可选图形 LCD 显示屏。
对于不需要前面板显示和控制的应用，模块化真空计是理想的解决方案。这些紧凑、方便、可靠、节省成本的模块将控制电子设备直接安装在仪表上。全金属封装提供坚固的外壳和高水平的抗电噪声能力。Mini-Convectron 模块使用最新的电子技术来操作 MKS Granville-Phillips®Convectron® 仪表。Convectron 仪表已成为行业标准。它是热导率仪表的独特变体，压力测量基于传感器线的热损失率。与仅使用传导热损失的传统热电偶和皮拉尼仪表不同，Convectron 仪表利用了较高压力下对流造成的热损失。这将精确、可重复的测量范围扩展到大气。
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