MKS Granville Phillips 390 マイクロイオン ATM モジュラー真空圧力トランスデューサー、設定ポイントなし、ディスプレイ付き、NW 25KF、390411-0-YE-T
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1x10-9 Torr の圧力測定。 PN: 390411-0-YE-T
この 390411 全圧マイクロイオン モジュールは、Granville Phillips 真空品質モニター システム (VQM) と連動します。
Granville-Phillips マイクロイオン ATM モジュールは、実績のあるマイクロイオン イオン化ゲージ技術と小型の Conductron 熱損失センサーおよび 2 つのピエゾ抵抗センサーを組み合わせて、高真空から大気圧までの正確で継続的な圧力測定を提供します。 この製品は、ダイヤフラム センサーを使用して、大気圧までの正確な絶対圧力と、真空チャンバーの周囲圧力との差圧の正確な表示を提供します。独自のセンサー設計により、高圧での熱損失センサーの性能に影響を与える可能性のある熱の影響が排除されます。この小型モジュールは、4 つのセンサーと制御電子機器をすべてコンパクトなモジュラー設計に組み合わせて、チャンバーに必要なゲージの数を減らし、必要なスペースを最小限に抑えます。フルレンジの圧力測定は、単一のアナログ信号として出力されるか、オプションのシリアル RS-485 または DeviceNet デジタル インターフェイスを介して利用できます。RS-485 および DeviceNet バージョンには、プロセス制御用に構成できるオプションのセットポイント リレーが最大 3 つあり、真空圧力範囲の任意の圧力または特定の差圧値にリレーを割り当てることができます。
利点は次のとおりです:
• 1 x 10-9 の高真空から大気圧までの連続圧力測定。
• 大気圧での高精度差圧測定。
• 個別の大気圧スイッチが不要になります。
• 3 つの個別のセンサーが不要になります。
• デュアル イオン化ゲージ フィラメントにより、機器の稼働時間が長くなります。
• イオン化ゲージの有効化と無効化の自動化。
• プロセス制御用のオプションのセットポイントリレー。
• 現場で交換可能なゲージアセンブリ。
• アナログ、RS-485、または DeviceNet 出力が利用可能。
• オプションのグラフィック LCD ディスプレイ。
モジュラー真空ゲージは、フロントパネルのディスプレイやコントロールを必要としないアプリケーションに最適なソリューションです。これらのコンパクトで便利、信頼性が高く、コストを節約できるモジュールには、ゲージに直接取り付けられた制御電子機器があります。オールメタルパッケージは、堅牢な筐体と高いレベルの電気ノイズ耐性を提供します。ミニコンベクトロンモジュールは、最新の電子技術を使用して Granville-Phillips®Convectron® ゲージを操作します。コンベクトロンゲージは業界標準となっています。これは、圧力測定がセンサーワイヤからの熱損失率に基づいている、熱伝導率ゲージのユニークなバリエーションです。伝導熱損失のみを使用する従来の熱電対やピラニ ゲージとは異なり、コンベクトロン ゲージは高圧での対流による熱損失を利用します。これにより、正確で再現性のある測定範囲が大気圧まで広がります。
Granville-Phillips マイクロイオン ATM モジュールは、実績のあるマイクロイオン イオン化ゲージ技術と小型の Conductron 熱損失センサーおよび 2 つのピエゾ抵抗センサーを組み合わせて、高真空から大気圧までの正確で継続的な圧力測定を提供します。 この製品は、ダイヤフラム センサーを使用して、大気圧までの正確な絶対圧力と、真空チャンバーの周囲圧力との差圧の正確な表示を提供します。独自のセンサー設計により、高圧での熱損失センサーの性能に影響を与える可能性のある熱の影響が排除されます。この小型モジュールは、4 つのセンサーと制御電子機器をすべてコンパクトなモジュラー設計に組み合わせて、チャンバーに必要なゲージの数を減らし、必要なスペースを最小限に抑えます。フルレンジの圧力測定は、単一のアナログ信号として出力されるか、オプションのシリアル RS-485 または DeviceNet デジタル インターフェイスを介して利用できます。RS-485 および DeviceNet バージョンには、プロセス制御用に構成できるオプションのセットポイント リレーが最大 3 つあり、真空圧力範囲の任意の圧力または特定の差圧値にリレーを割り当てることができます。
利点は次のとおりです:
• 1 x 10-9 の高真空から大気圧までの連続圧力測定。
• 大気圧での高精度差圧測定。
• 個別の大気圧スイッチが不要になります。
• 3 つの個別のセンサーが不要になります。
• デュアル イオン化ゲージ フィラメントにより、機器の稼働時間が長くなります。
• イオン化ゲージの有効化と無効化の自動化。
• プロセス制御用のオプションのセットポイントリレー。
• 現場で交換可能なゲージアセンブリ。
• アナログ、RS-485、または DeviceNet 出力が利用可能。
• オプションのグラフィック LCD ディスプレイ。
モジュラー真空ゲージは、フロントパネルのディスプレイやコントロールを必要としないアプリケーションに最適なソリューションです。これらのコンパクトで便利、信頼性が高く、コストを節約できるモジュールには、ゲージに直接取り付けられた制御電子機器があります。オールメタルパッケージは、堅牢な筐体と高いレベルの電気ノイズ耐性を提供します。ミニコンベクトロンモジュールは、最新の電子技術を使用して Granville-Phillips®Convectron® ゲージを操作します。コンベクトロンゲージは業界標準となっています。これは、圧力測定がセンサーワイヤからの熱損失率に基づいている、熱伝導率ゲージのユニークなバリエーションです。伝導熱損失のみを使用する従来の熱電対やピラニ ゲージとは異なり、コンベクトロン ゲージは高圧での対流による熱損失を利用します。これにより、正確で再現性のある測定範囲が大気圧まで広がります。
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