MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围为 4 至 200 sccm，15 针 D 型微型。PN：GM50A013202RMM020
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MKS 部件编号：GM50A013202RMM020。
MKS GM50A 质量流量控制器能够配置为控制各种安全输送源气体 (SDS)。输入和输出配件为 Swagelok® 4 VCR® 公头。它的满量程流量范围为 200 sccm，控制范围为 4 至 200 sccm，15 针 D-subminiature 连接器带接地，以及 0-5 VDC 流量输入/输出信号。典型响应时间约为 500 毫秒。数字校准可使校准气体的设定点精度达到 1%。
可以通过基于 Web 浏览器的应用程序配置多范围功能，只需将 MFC 插入路由器或通过以太网电缆连接到计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。
可以通过基于 Web 浏览器的应用程序配置多范围功能，只需将 MFC 插入路由器或通过以太网电缆连接到计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。
Swagelok、VCR-TM Swagelok 公司
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