MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、範囲 4 ～ 200 sccm、15 ピン D サブミニチュア。PN: GM50A013202RMM020
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MKS 部品番号: GM50A013202RMM020。
MKS GM50A マスフローコントローラは、幅広い範囲の安全供給源ガス (SDS) を制御するように構成できます。入力および出力フィッティングは Swagelok® 4 VCR® オスです。フルスケール フロー範囲は 200 sccm、制御範囲は 4 ～ 200 sccm、接地された 15 ピン D サブミニチュア コネクタ、および 0 ～ 5 VDC フロー入力/出力信号を備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションでは、キャリブレーション ガスの設定点精度が 1% になります。
マルチレンジ機能は、MFC をルーターまたはコンピューターに Ethernet ケーブルで接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションで設定できます。E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。
マルチレンジ機能は、MFC をルーターまたはコンピューターに Ethernet ケーブルで接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションで設定できます。E-diagnostics アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。
Swagelok、VCR-TM Swagelok Company
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