Contrôleur de débit massique (MFC) MKS GM50A à commande numérique, plage de 4 à 200 sccm, D-subminiature 15 broches. Réf. : GM50A013202RMM020
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Numéro de pièce MKS : GM50A013202RMM020.
Le contrôleur de débit massique MKS GM50A peut être configuré pour contrôler une large gamme de gaz sources de distribution sécurisée (SDS). Les raccords d'entrée et de sortie sont des raccords mâles Swagelok® 4 VCR®. Il dispose d'une plage de débit à pleine échelle de 200 sccm et d'une plage de contrôle de 4 à 200 sccm, d'un connecteur D-subminiature à 15 broches avec mise à la terre et d'un signal d'entrée/sortie de débit de 0 à 5 V CC. Les temps de réponse typiques sont de l'ordre de 500 millisecondes. L'étalonnage numérique permet d'obtenir une précision de 1 % du point de consigne sur le gaz d'étalonnage.
Les capacités multi-gammes peuvent être configurées via une application basée sur un navigateur Web accessible en connectant le MFC à un routeur ou à un ordinateur via un câble Ethernet. L'application E-diagnostics permet à l'utilisateur de surveiller les performances du MFC en temps réel ainsi que de tracer des données et de sélectionner des variables.
Les capacités multi-gammes peuvent être configurées via une application basée sur un navigateur Web accessible en connectant le MFC à un routeur ou à un ordinateur via un câble Ethernet. L'application E-diagnostics permet à l'utilisateur de surveiller les performances du MFC en temps réel ainsi que de tracer des données et de sélectionner des variables.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company
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