Contrôleur de débit massique (MFC) MKS GM50A à commande numérique, plage de 10 à 500 sccm, D-subminiature 15 broches, 4 VCR mâles. Réf. : GM50A013502RMM020
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Numéro de pièce MKS : GM50A013502RMM020.
Le contrôleur de débit massique MKS GM50A peut être configuré pour contrôler une large gamme de gaz sources de distribution sûre (SDS). Les raccords d'entrée et de sortie sont des Swagelok® 4 VCR®. Il dispose d'une plage de débit à pleine échelle de 500 sccm et d'une plage de contrôle de 10 à 500 sccm, d'un connecteur D-subminiature 15 broches avec mise à la terre et d'un signal d'entrée/sortie de débit de 0 à 5 VCC. L'étalonnage numérique permet d'obtenir une précision de 1 % du point de consigne sur le gaz d'étalonnage. Les temps de réponse typiques sont de l'ordre de 500 millisecondes.
Les capacités multi-gammes peuvent être configurées via une application basée sur un navigateur Web accessible en connectant le MFC à un routeur ou à un ordinateur via un câble Ethernet. L'application E-diagnostics permet à l'utilisateur de surveiller les performances du MFC en temps réel ainsi que de tracer des données et de sélectionner des variables.
Les capacités multi-gammes peuvent être configurées via une application basée sur un navigateur Web accessible en connectant le MFC à un routeur ou à un ordinateur via un câble Ethernet. L'application E-diagnostics permet à l'utilisateur de surveiller les performances du MFC en temps réel ainsi que de tracer des données et de sélectionner des variables.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company
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