MKS 937B 半機架組合真空計控制器,無卡,RS232 和 RS485,6 通道。 PN:937B-US-NANANA-NA

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<中心> MKS 937B 半機架組合控制器,可同時操作多達六個真空壓力感知器,無卡片、RS232 和 RS485(內建)。
MKS 零件號碼:937B-US-NANANA-NA。
MKS 937B 數位組合真空計控制器可同時操作多達六個真空壓力感測器。這種高度靈活的真空計控制器支援多種感測器技術,包括冷陰極、熱陰極、標準皮拉尼、對流皮拉尼、Baratron® 電容壓力計和絕對壓電感測器,測量範圍從超高真空到高於大氣壓力。

937B 控制器專為多功能性、可靠性和經濟性而設計。易於讀取的大型液晶顯示器可同時讀取最多六個感測器的讀數。背光 LCD 顯示器、直覺的選單和簡單的按鈕前面板使 937B 的設定變得更加容易。此控制器允許在每個感測器卡插槽中使用任何感測器卡。 937B 最多可配置三個熱陰極或冷陰極型儀表,或三個雙感測器卡,最多可連接六個儀表。

  • 設定點:十二個可獨立調整的設定點是標準配置。這允許製程相關功能的自動化。設定點值是非揮發性的,在斷電或斷電後保持不變。它們可以在通道設定畫面中輕鬆查看和配置。 937B 還包括一個可調節的控制設定點,可在所需壓力下關閉或打開冷陰極或熱陰極真空計電源,從而延長感測器的使用壽命。
  • 洩漏測試:洩漏測試模式包括長條圖和可變聲音警報,以幫助定位系統內的洩漏。此功能與冷陰極、熱陰極、皮拉尼和對流感測器一起運作。透過利用示蹤氣體靈敏度的差異,這提供了一個出色的工具來幫助定位粗略的系統洩漏。
  • 類比輸出訊號:控制器提供可透過後面板連接器存取的類比輸出訊號。提供三種類型的類比訊號。未經處理的類比訊號用於提供最快的回應時間。對數輸出電壓經過縮放,使得 0.6 伏特等於十倍壓強。組合輸出可以透過組合最多三個感測器來創建,組合範圍為 10-11 至 20,000 Torr。
  • 數位訊號:除了類比輸出之外,937B 還可以透過內建 RS232 或 RS485 連接進行數位通信,以實現直接電腦通訊。 937B 機箱中的通訊插槽可接受選購的 Profibus DPV1 板。 937B 可以使用這些連接埠與主機通訊。設定點遠端控制和冷陰極高壓禁用是通訊選項提供的眾多功能的一部分。本網站提供 MKS 937B 的訊號電纜和可選卡。
  • 937B-Manual.pdf (937B-Manual.pdf, 3,035 Kb) [下載]

    937B-data-sheet.pdf (937B-data-sheet.pdf, 918 Kb) [下載]

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