MKS 626D 1000 Torr Baratron 절대 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, UHV 진공 피팅 Conflat CF 1.33인치 플랜지, PN 626D13TCE
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MKS 626D 비가열 절대 Baratron® 용량 압력계는 최신 아날로그, 용량 기반, 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. 이 제품은 ±15 VDC 입력 전압이 필요하고 압력에 선형적인 고수준 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전용량 변화는 특허받은 신호 조절 전자 회로에 의해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(대부분의 경우 20msec 미만), 낮은 히스테리시스, 뛰어난 반복성, 매우 높은 분해능(전체 규모의 0.001%), 매우 높은 내식성, 작업자의 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 영구적인 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 반복적으로 노출되어 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 마노미터는 주변 조건에서 작동합니다. 0.1~1000Torr의 전체 규모 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 많은 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다.
이 목록은 15핀 D-초소형 신호 커넥터, 1000 Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독 값, Conflat CF 1.33인치 초고진공 UHV 플랜지 연결부를 갖춘 MKS 유형 626D 커패시턴스 압력계에 대한 것이며 MKS 부품 번호는 626D13TCE입니다.
호환 컨트롤러 및 케이블:
이 목록은 15핀 D-초소형 신호 커넥터, 1000 Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독 값, Conflat CF 1.33인치 초고진공 UHV 플랜지 연결부를 갖춘 MKS 유형 626D 커패시턴스 압력계에 대한 것이며 MKS 부품 번호는 626D13TCE입니다.
호환 컨트롤러 및 케이블:
- P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일
- P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 커패시턴스 마노미터 컨트롤러
- P1010127 - Ideal Vacuum 듀얼 커패시턴스 마노미터 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독
- 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력
- 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 총 압력을 직접 측정
- 최첨단 공정 반복성을 위한 장기 출력 안정성
- 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 사실상 모든 화학 물질에서 손상 없이 작동합니다. 환경
- 높은 과압 한계는 시스템 오류 시 안정성을 보장합니다.
- 최고의 정확성과 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 지정
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