Scrollvac 7-18 Plus モデル用 Leybold 排気サイレンサー。部品番号 141102A02
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KF-25、Leybold PN: 141102A02
Scrollvac plus サイレンサーは、ポンプダウンおよびガスバラスト操作中の排気音を低減し、ポンプ操作中にチップシールのダストを収集して保持します。排気ガスは、ポンプを使用してプロセスチャンバーを排気しているとき、ガスバラスト制御を使用しているとき、またはその両方で排気ポートから排出されます。ポンプダウン時の騒音レベルはスループットが増加するにつれて上昇するため、サイレンサーを使用してこの騒音レベルを低減します。外側の缶はプレス鋼で作られており、フィルター要素にアクセスできるように分割されています。フィルター要素ハウジングは Santoprene® 熱可塑性エラストマーで作られています。要素自体はポリエステルです。フォームブロックはフィルターフォームで製造されています。注意: これらの要素は乾燥した用途でのみ使用でき、湿らせないでください。サイレンサーには圧力リリーフ バルブは取り付けられていません。
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