MKS 248D 일반 용도 유량 제어 밸브, 5000 sccm, 1/4 in. Swagelok 튜브 피팅, Viton Seals. PN: 0248D-05000RV
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MKS 부품 번호: 0248D-05000RV.
제어 전류가 공급되면 이 범용 수정 솔레노이드 밸브는 가스 흐름을 조절합니다. MKS 컨트롤러와 적절한 유량 센서와 함께 사용하면 248D 밸브는 정확하고 정밀한 압력 또는 유량을 유지하면서 가스 흐름을 조절합니다. 적용 분야에는 유량 제어, 상류 또는 하류 압력 제어가 있습니다. 이 모델 0248D-05000RV 밸브는 5,000 표준 분당 센티미터(sccm)의 질소 풀 스케일 범위, Swagelok® 1/4인치 튜브 피팅, 비톤 씰을 특징으로 합니다. 닫힌 밸브를 통한 누설 전도도는 <1x10-5 scc/sec He입니다.
Swagelok-TM Swagelok Company
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