Edwards Semi E73 マイクロ TIM コントロール モジュール (Edwards EPX、iGX、GX、iXH、iXL、ドライ ポンプ用)、D37360340
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D37360340
Semi E73 Micro TIM モジュールは、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Semi E73 準拠のツール インターフェイスを提供します。Semi E73 Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールでさまざまな Edwards ポンプを制御および監視できます。Semi E73 Micro TIM は、次の Edwards ポンプと互換性があります。
- EPX シリーズ
- iGX シリーズ
- GX シリーズ
- iXH シリーズ
- iXL シリーズ
- システム コントローラを備えたマルチ ポンプ システムでも使用できます。
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