Edwards nXDS シリーズ ドライ スクロール真空ポンプ ミクロン フィルター トラップ、入口またはポンプ排気口で使用可能、KF-25 真空フランジ、PN: A505-97-805
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Edwards 真空部品番号 PN: A505-97-805。
これらの Edwards nXDS ミクロン フィルター トラップは、真空チャンバーから吸い込まれる可能性のあるゴミから保護するためにポンプの入口で使用することも、チップシールのダストを捕捉するために真空ポンプと排気ラインの間に使用することもできます。これらの Edwards nXDS フィルター トラップは、5 ミクロン エレメントが付属しており、KF-25 真空フランジと Edwards 部品番号 A505-97-805 を備えています。
交換用フィルター メディア 1 ミクロン、A505-97-803。 P108771
交換用フィルター メディア 5 ミクロン、A505-97-802。 P108772
すべての Edwards nXDs シリーズ ドライ スクロール真空ポンプに対応:
交換用フィルター メディア 1 ミクロン、A505-97-803。 P108771
交換用フィルター メディア 5 ミクロン、A505-97-802。 P108772
すべての Edwards nXDs シリーズ ドライ スクロール真空ポンプに対応:
- エドワーズ nXDS6i
- エドワーズ nXDS10i
- エドワーズ nXDS15i
- エドワーズ nXDS20i
- エドワーズ nXDS6ic
- エドワーズ nXDS10ic
- エドワーズ nXDS15ic
- エドワーズ nXDS20ic
- エドワーズnXDS6ir
- エドワーズ nXDS10ir
- エドワーズ nXDS15ir
- エドワーズ nXDS20ir
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