Edwards nXDS 排気ガスおよびガスバラストキット、マイナーリビルドサービス用、すべての nXDS シリーズポンプに適合、PN: A735-01-803
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Edwards 真空部品番号 PN: A735-01-803。
これらの Edwards nXDS シリーズドライスクロールポンプ排気バルブおよびガスバラストキットは、マイナーリビルドサービスが必要な場合によく使用されます。これは通常、ポンプの稼働開始から 2 年後に必要となり、多くの場合、12,000 ～ 16,000 時間の稼働時間の間に必要になります。これらは、チップシールの交換時に同時に取り付けられることがよくあります。Edwards チップシールキット部品番号 A735-01-801 を参照してください。チップシールが摩耗すると、ポンプは最低到達圧力に達する能力を失い始めます。新しい nXDS ポンプのベース圧力は、漏れのないきれいな真空チャンバーを排気するときに、10 mTorr 以下で測定されることがよくあります。ベース圧力が 25 mTorr までしか達していないことに気付いた場合は、チップ シールを交換する必要がある可能性があります。以下のダウンロード セクションにあるチップ シール交換マニュアルに記載されている手順を参照してください。
すべての Edwards nXDs シリーズ ドライ スクロール真空ポンプで動作します
すべての Edwards nXDs シリーズ ドライ スクロール真空ポンプで動作します
- Edwards nXDS6i
- Edwards nXDS10i
- Edwards nXDS15i
- Edwards nXDS20i
- Edwards nXDS6ic
- Edwards nXDS10ic
- Edwards nXDS15ic
- Edwards nXDS20ic
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- Edwards nXDS15ir
- Edwards nXDS20ir
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