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Edwards iXL600N 干式真空泵。200-460 V 50/60 Hz 三相电源。600 m3h-1 峰值抽速。包括：3/8" 快速连接水管接头。Edwards PN：A54134010。

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Edwards iXL600N 干式真空泵。200-460 V 50/60 Hz 三相电源。600 m3h-1 峰值抽速。包括：3/8 英寸快速连接水配件。
Edwards PN：A54134010

iXL600N 是干泵和增压系统的组合。该系统用于轻型应用，N 型配有气体模块，可为泵机构区域提供氮气吹扫气体。定子、电机和逆变器驱动器均采用水冷。泵送系统可通过前面板、PDT 附件或通过 MicroTIM 的工具进行控制。干泵系统适用于负载锁和轻型应用。常见应用包括负载锁、传输、计量、光刻、PVD 工艺和 PVD ​​预清洁。

Edwards_iXL600_1000_Instruction_Manual.pdf (Edwards_iXL600_1000_Instruction_Manual.pdf, 2,341 Kb) [下载]

EdwardsMicroTIM_InstructionManual.pdf (EdwardsMicroTIM_InstructionManual.pdf, 953 Kb) [下载]

Edwards iXL120N 干式真空泵，200-460VAC，氮气吹扫连接，3/8 QC 快速断开水接头。
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Edwards 干式真空泵 iXL120 E 200-460VAC 1/4 QC 水配件。零件号：A54113020。
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Edwards 干式真空泵 iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC 水配件。零件号：A54113610
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Edwards 干式真空泵 iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC 水配件。零件号：A54113710
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Edwards 干式真空泵 iXL120 E 200-460VAC，3/8 QC 水配件，带流量控制阀。零件编号：A54113011
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Edwards 干式真空泵 iXL120 E 200-460VAC，HIT 3/8 QC 水配件，带流量控制阀。零件编号：A54113611
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Edwards 干式真空泵 iXL120 E 200-460VAC，SPI 1/4 QC 水配件，带流量控制阀。PN：A54113221
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