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홈/VACUUM PUMPS/DRY SEMICONDUCTOR PUMPS/Edwards iXL Series/Edwards iXL600N 건식 진공 펌프. 200-460V 50/60Hz 3상 공급. 600m3h-1 피크 펌핑 속도. 포함: 3/8" 퀵 커넥트 물 피팅. Edwards PN: A54134010.

Edwards iXL600N 건식 진공 펌프. 200-460V 50/60Hz 3상 공급. 600m3h-1 피크 펌핑 속도. 포함: 3/8" 퀵 커넥트 물 피팅. Edwards PN: A54134010.

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Edwards iXL600N 건식 진공 펌프. 200-460V 50/60Hz 3상 공급. 600m3h-1 피크 펌핑 속도. 포함 사항: 3/8" 퀵 커넥트 워터 피팅.
Edwards PN: A54134010

iXL600N은 건식 펌프와 부스터 시스템의 조합입니다. 이 시스템은 경량 응용 분야에서 사용하기 위한 것이고 N 변형에는 펌프 메커니즘 영역에 질소 퍼지 가스를 공급하는 가스 모듈이 장착되어 있습니다. 스테이터, 모터 및 인버터 드라이브는 수냉식입니다. 펌핑 시스템은 전면 패널, PDT 액세서리 또는 MicroTIM을 통한 도구로 제어할 수 있습니다. 건식 펌프 시스템은 로드 잠금 및 경량 응용 분야에서 사용하도록 설계되었습니다. 일반적인 응용 분야로는 로드 잠금, 전송, 계측, 리소그래피, PVD 공정 및 PVD 사전 세척이 있습니다.

Edwards_iXL600_1000_Instruction_Manual.pdf (Edwards_iXL600_1000_Instruction_Manual.pdf, 2,341 Kb) [다운로드]

EdwardsMicroTIM_InstructionManual.pdf (EdwardsMicroTIM_InstructionManual.pdf, 953 Kb) [다운로드]