Edwards iXL600N ドライ真空ポンプ。200～460 V、50/60 Hz、3 相電源。600 m3h-1 のピーク ポンピング速度。3/8 インチ クイック コネクト水接続継手を含む。Edwards PN: A54134010。
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iXL600N は、ドライ ポンプとブースターを組み合わせたシステムです。このシステムは、軽負荷アプリケーションでの使用を目的としており、N バリアントには、ポンプ機構領域に窒素パージ ガスを供給するガス モジュールが取り付けられています。ステーター、モーター、およびインバータ ドライブは水冷式です。ポンプ システムは、フロント パネル、PDT アクセサリ、または MicroTIM 経由のツールによって制御できます。ドライ ポンプ システムは、ロード ロックおよび軽負荷アプリケーションで使用することを目的としています。一般的なアプリケーションには、ロード ロック、転送、計測、リソグラフィー、PVD プロセス、および PVD プレクリーンがあります。
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