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Edwards iQDP-40 및 iQDP-80 가스 모듈 질량 유량계 3810 - 60 L/MIN 교체

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Edwards iQDP-40 및 iQDP-80 가스 모듈 질량 유량계 3810 - 60L/MIN 교체.

Edwards iQDP-40 및 iQDP-80 건식 반도체 진공 펌프에는 진공 펌프에 질소 유량을 제공하는 시리즈 II 가스 모듈이 있습니다. 이러한 질소 유량은 펌프의 섹션을 퍼지하고 건식 샤프트 씰에 냉각을 제공하는 데 필요합니다. 이러한 펌프가 오래되면 가스 모듈 내부의 질량 유량 컨트롤러가 결함이 생길 수 있습니다. 당사의 교체 질량 유량 컨트롤러 3810은 새 교정된 교체 부품으로 설계되었습니다. 이러한 부품은 가스 모듈을 재생성하여 진공 펌프에 올바른 유량을 제공합니다.

Ideal Vacuum은 모든 블로워 조합을 사용할 수 있는 모든 Edwards iQDP-40 및 iQDP-80 건식 반도체 펌프에 대한 재구축 서비스를 제공합니다. iQDP 펌프 또는 iQDP 가스 모듈 재구축 서비스에 대해서는 505-872-0037로 문의하세요.

Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf (Ideal-Vacuum-Company-Image_med.pdf, 7,973 Kb) [다운로드]

Edwards-iQDP-Dry-Pump-Operating-Instructions.pdf (Edwards-iQDP-Dry-Pump-Operating-Instructions.pdf, 1,968 Kb) [다운로드]

Edwards_DRYSTAR_QDP-40_QDP-80_Operating_Instructions.pdf (Edwards_DRYSTAR_QDP-40_QDP-80_Operating_Instructions.pdf, 2,049 Kb) [다운로드]

Edwards_Qdp_iQDP40_80_PartsList.pdf (Edwards_Qdp_iQDP40_80_PartsList.pdf, 706 Kb) [다운로드]

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