Edwards iQDP-40 和 iQDP-80 气体模块质量流量计 3810 - 60 L/MIN 更换
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Edwards iQDP-40 和 iQDP-80 干式半导体真空泵具有 II 系列气体模块，可为真空泵提供氮气流量。这些氮气流量用于净化泵的各个部分并为干式轴密封提供冷却。随着这些泵的老化，气体模块内的质量流量控制器可能会出现故障。我们的更换质量流量控制器 3810 设计为新的校准更换部件。它们可再生气体模块，以便为真空泵提供正确的流量。
Ideal vacuum 为所有 Edwards iQDP-40 和 iQDP-80 干式半导体泵提供重建服务，并提供所有鼓风机组合。请联系我们获取 iQDP 泵或 iQDP 气体模块重建服务 - 505-872-0037。
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