Edwards EPX 180LE 高真空主乾式真空幫浦 208 VAC 3PH。 3/8 英吋水連接器 ISO 63 入口。零件號碼 A41943012 - 不含 TIM
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Edwards EPX 180LE 高真空初級乾式真空幫浦 ISO 63 入口 208 VAC 3PH。 PN A41943012
不含工具介面模組 (TIM) 高真空乾幫浦的緊湊型 EPX180LE 可提供增強的效能並降低擁有成本。 EPX180LE 採用獨特的專利保護機制，能夠從大氣中泵送至低於 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。這些是真正令人驚嘆的泵； Edwards EPX 幫浦可以從大氣抽氣到渦輪分子壓力範圍，並且可以在所有入口壓力下連續運作。模組化 EPX180 基於屢獲殊榮的 IPX 系列，提供出色的效能，其封裝比 IPX 輕 20%，小 30%，所需功耗低 40%。 EPX LE 系列幫浦配備最終用戶控制器 (EUC)。最終使用者控制器可實現獨立使用的本地控制，並能夠連接到晶圓廠範圍內的網路以進行遠端控制和監控。 EPX 幫浦系統在大氣壓力和極限真空之間的壓力下運行，泵浦室中沒有潤滑或密封液。這確保了泵送系統的清潔，而油或液體不會回流到被抽空的系統中。 EPX 180LE 是已停產的 EPX 180NE 型號（零件號 A41944012）的良好替代選擇。
幫浦的定子和封閉式馬達由整合式水冷卻迴路冷卻。因此，EPX 幫浦適用於無法接受風扇冷卻的無塵室環境中的應用。冷卻水供回水管道透過水接頭（客戶指定）與幫浦連接。冷卻水必須與環境條件（濕度和溫度）相適應，以免達到露點。 此幫浦配有 EMC 電源濾波器和逆變器驅動器，為幫浦馬達提供並控制電源。前蓋上的 LED 指示燈可辨識 EPX 幫浦的狀態。馬達速度取決於幫浦入口處的壓力。當泵浦在入口壓力等於或接近大氣壓力的情況下啟動時，馬達加速到由逆變器驅動器提供的電流限制的速度。隨著入口壓力降低，馬達速度增加，直到最終達到預設的最大速度。如果入口處的壓力增加，馬達將再次減速。
EPX LE 系列幫浦可使用最終用戶控制 (EUC) 本機顯示器和鍵盤進行手動操作，或使用幫浦顯示終端 (PDT)（如果已安裝）進行遠端操作；它還可以透過網路進行控制和監控，網路透過網路連接器連接到 EPX 幫浦。當 EPX LE 系列幫浦透過工具介面模組 (TIM) 進行控制時，EUC 僅監控幫浦的狀態。 EPX 幫浦與 Fabworks 32 相容。 EPX 有四個隔振器。 如果發生故障，泵浦保護感測器會自動關閉泵浦。 EPX 系列涵蓋了從晶圓處理到中型製程的廣泛應用。 EPX“LE”系列設計用於泵送惰性氣體混合物的清潔負載應用，例如負載鎖，其中控制由製程工具介面提供。 將使用手冊下載到旁邊。
幫浦的定子和封閉式馬達由整合式水冷卻迴路冷卻。因此，EPX 幫浦適用於無法接受風扇冷卻的無塵室環境中的應用。冷卻水供回水管道透過水接頭（客戶指定）與幫浦連接。冷卻水必須與環境條件（濕度和溫度）相適應，以免達到露點。 此幫浦配有 EMC 電源濾波器和逆變器驅動器，為幫浦馬達提供並控制電源。前蓋上的 LED 指示燈可辨識 EPX 幫浦的狀態。馬達速度取決於幫浦入口處的壓力。當泵浦在入口壓力等於或接近大氣壓力的情況下啟動時，馬達加速到由逆變器驅動器提供的電流限制的速度。隨著入口壓力降低，馬達速度增加，直到最終達到預設的最大速度。如果入口處的壓力增加，馬達將再次減速。
EPX LE 系列幫浦可使用最終用戶控制 (EUC) 本機顯示器和鍵盤進行手動操作，或使用幫浦顯示終端 (PDT)（如果已安裝）進行遠端操作；它還可以透過網路進行控制和監控，網路透過網路連接器連接到 EPX 幫浦。當 EPX LE 系列幫浦透過工具介面模組 (TIM) 進行控制時，EUC 僅監控幫浦的狀態。 EPX 幫浦與 Fabworks 32 相容。 EPX 有四個隔振器。 如果發生故障，泵浦保護感測器會自動關閉泵浦。 EPX 系列涵蓋了從晶圓處理到中型製程的廣泛應用。 EPX“LE”系列設計用於泵送惰性氣體混合物的清潔負載應用，例如負載鎖，其中控制由製程工具介面提供。 將使用手冊下載到旁邊。
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