Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F 초고진공 반도체 크라이오펌프, 비온보드, LF ISO 250, 3상 3개, 재생산
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Edwards CTI Brooks 부품 번호: 8116086G002.
Edwards CTI-Cryogenics(현 Edwards) Cryo-Torr OB250F, 3상(3) 크라이오펌프는 반도체 산업에서 사용하기 위해 향상된 성능과 좁은 공간 요구 사항을 위해 특별히 설계 및 제작되었습니다.
이 크라이오펌프는 ISO 250 입구 플랜지와 표준 KF-25 러핑 펌프 플랜지를 갖추고 있습니다. 정격 펌핑 속도에서 10-8 Torr 초고진공(UHV)이 가능합니다.
이 Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F 3상(3) 펌프는 3상(3) 전원으로만 작동합니다. 전기 전원은 특수 CTI 3상 모터 컨트롤러에서 공급합니다.
CTI 3상 Cryo-Torr 250F 크라이오펌프는 진공에 가동 부품, 작동 유체 또는 백업 펌프를 노출시키지 않으므로 크라이오펌프 자체에서 시스템 역류 또는 공정 오염이 발생할 가능성이 없습니다.
이 크라이오펌프는 ISO 250 입구 플랜지와 표준 KF-25 러핑 펌프 플랜지를 갖추고 있습니다. 정격 펌핑 속도에서 10-8 Torr 초고진공(UHV)이 가능합니다.
- 물 ………. 6500 l/초
- 공기 ………..…. 2200 l/초
- 수소 ..…. 3200 l/초
- 아르곤 ………. 1800 l/초
이 Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F 3상(3) 펌프는 3상(3) 전원으로만 작동합니다. 전기 전원은 특수 CTI 3상 모터 컨트롤러에서 공급합니다.
CTI 3상 Cryo-Torr 250F 크라이오펌프는 진공에 가동 부품, 작동 유체 또는 백업 펌프를 노출시키지 않으므로 크라이오펌프 자체에서 시스템 역류 또는 공정 오염이 발생할 가능성이 없습니다.
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