Agilent Varian VPI バルブ真空ポンプアイソレーション NW25、TriScroll 300 インバータ用、24VDC、VPI25INV24DC
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真空ポンプ アイソレーション バルブ KF25 24 VDC。VPI バルブ、通信ケーブル、24 VDC 電源、スプリッタ コードが含まれています。 (この VPI バルブは TriScroll 300 インバータ スクロール ポンプ専用です。) VPI バルブは、モーターの動作に関連付けられた TriScroll インバータ スクロール ポンプからの出力信号によって制御されます。電源が遮断されると、急速に閉じて、オイルの逆流や真空システムへの粒子の移動を防止します。また、このバルブは、ポンプの入口側から排気して破片を出口に向かって押し出すため、ポンプの再起動時に破片がシステムに流入するのを防ぎます。この遮断バルブ本体は軽量アルミニウムで作られており、本体設計と直角構成により最大の伝導性が得られます。上の中央の図は、考えられる電気接続の例を示しています。この図は、下の (利用可能なダウンロード) からダウンロードできる VPI 取扱説明書の 2.23 ページにあります。
Agilent Varian 真空ポンプ遮断バルブは、ユーザーに次の機能を提供します:
- ロックオーバーセンター機構による信頼性が高く繰り返し可能なシール。リーク率は < 1x10
std cc/sec He - 停電時に真空システムを迅速に保護し、バルブは < 30 ミリ秒
- ポンプ入口でポンプの排気が可能になり、流れの方向が維持され、オイル/ゴミがシステムに流入しません
- ポンプ入口圧力がシステム圧力に戻るまで閉じた状態を保つことで、継続的な保護と簡単な再起動を提供します
- 大気圧で動作し、電力が失われると起動します。動作に圧縮空気は必要ありません
- ポンピング速度を低下させることなく、NW25 バルブで最大 13 l/s、NW40 バルブで最大 33 l/s のコンダクタンスを提供します
- バルブの温度範囲は 0˚ ～ 100˚ C、ソレノイドの温度範囲は 0˚ ～ 50˚ C
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