安捷倫瓦里安 TPS 移動真空系統，帶 305 FS 渦輪、ISO100 進樣口，移動車上配有 IDP-07 乾式渦旋泵
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安捷倫瓦里安 TPS 移動系統，配備 TwisTorr 305 FS Turbo、ISO-100 入口、IDP-07 乾式渦旋幫浦以及行動推車上的機架控制器。
安捷倫瓦里安零件號碼 G8701A-011-023-036-041-110-551、9698428。
安捷倫瓦里安零件號碼 G8701A-011-023-036-041-110-551、9698428。
這些 Agilent Varian TPS 移動系統配備 Agilent 305 FS 渦輪幫浦（抽速 255 l/s）、ISO-100K 入口法蘭、IDP-7 乾式渦旋低真空幫浦和 305-FS AG 機架安裝控制器。它們是即插即用的、完整的獨立超高真空抽氣系統，只需插入並抽氣即可。所需要的只是連接到您的腔室或真空過程所需的硬體和壓力表。帶有 CF 法蘭的 Agilent 305 FS 渦輪泵是真正的超高真空 (UHV) 泵，極限壓力可達 10-10 Torr 範圍（如果使用全金屬進氣密封墊圈且真空室完全清潔和烘烤）出去） 。配備 ISO-K 法蘭的 Agilent 305 FS 渦輪幫浦的極限壓力（透過橡膠/彈性體 O 形圈密封件的滲透和排氣）限制在 10-8 Torr 範圍內。當渦輪機採用水冷時，這些幫浦的進氣法蘭（僅限 CF 法蘭）可烘烤至 100 °C。
應用程式包括：
有關 Agilent Varian 305 FS 渦輪分子真空幫浦的說明
這些安捷倫瓦里安 TwisTorr 305-FS 渦輪分子高真空幫浦具有全新的改進性能，包括更新設計的迷宮式 Twistorr 拖曳級技術和安捷倫浮動懸吊 (AFS) 以及優化的熱設計映射。 TwisTorr 拖曳級可為氫氣和氦氣等輕質氣體提供高壓縮比，以提供高吞吐量和高前置壓力耐受性，從而允許使用更小、更經濟的前置泵浦。該技術實現了緊湊的轉子設計，既節能又保持較低的工作溫度。安捷倫浮動懸浮系統可降低噪音和振動，並確保最佳的軸承工作條件，從而延長使用壽命、最大限度地減少系統停機時間並確保長期穩定的泵送性能。獨特的陶瓷球軸承具有永久潤滑功能，無需加油和維護，並允許泵浦在任何方向運行。安捷倫渦輪泵專為在實際應用中實現最佳性能而設計，其緊湊的尺寸可滿足具有嚴格空間要求的行業的需求。這些全新 Agilent TwisTorr 305 FS 渦輪幫浦只需極少的維護甚至無需維護。
有關 Agilent Varian FS AG 機架控制器的說明
Agilent Varian 機架控制器具有 RS232-485 連接器，是一款固態變頻器，可驅動 TwisTorr 渦輪泵、為冷卻風扇供電並驅動排氣閥。它提供並獲取寬範圍壓力表的壓力，並在停止命令後讀取速度讀數。機架控制器的 PDF 使用者說明手冊可在下方下載。
IDP-7 乾式渦旋低真空幫浦注意事項
全新安捷倫瓦里安 IDP-07 乾式渦旋真空幫浦專為極其安靜的環境而設計。 55 dBA 和低振動運行，在 60 Hz 頻率下提供 5.4 cfm (9.1 m3/h) 的峰值抽速，並產生 20 mTorr 的極限壓力。這些新型 Agilent IDP-07 乾式渦旋幫浦採用密封設計，適用於氦氣再循環以及真空爐和前級幫浦應用。密封設計提供了穿過泵浦的清潔氣體路徑，消除了任何油或油脂污染的風險，使馬達和軸承能夠在大氣壓力下運行，從而將它們與真空製程氣體或水蒸氣隔離。 Agilent IDP-07 支援全球單相電機，工作電壓範圍可在 50/60Hz 時在 100-120V 或 200-230 VAC 之間輕鬆切換。 IDP-7 的 PDF 使用者說明手冊可在側面下載。
應用程式包括：
- 特高壓系統抽氣
- 離子幫浦粗加工
- 燈管加工
- 低溫幫浦再生
- 高真空系統操作
- 高真空和超高真空系統烘烤
- Agilent Varian 305 FS TwisTorr 渦輪分子泵，ISO-100 進樣口，255 l/s
- Agilent Varian 305 AG FS 機架控制器，PN X3506-64130
- 用於機架控制器的安捷倫瓦里安空氣冷卻風扇套件，PN X3500-68011
- 安捷倫瓦里安 IDP-07 乾式渦旋低真空泵，PN X3807-64010
- 附濾網的 ISO-100 入口定心環，零件號碼 X3500-68000
- 有輪子和可調整幫浦高度的移動推車
- 交流電源線，3 米，零件號 9699958
有關 Agilent Varian 305 FS 渦輪分子真空幫浦的說明
這些安捷倫瓦里安 TwisTorr 305-FS 渦輪分子高真空幫浦具有全新的改進性能，包括更新設計的迷宮式 Twistorr 拖曳級技術和安捷倫浮動懸吊 (AFS) 以及優化的熱設計映射。 TwisTorr 拖曳級可為氫氣和氦氣等輕質氣體提供高壓縮比，以提供高吞吐量和高前置壓力耐受性，從而允許使用更小、更經濟的前置泵浦。該技術實現了緊湊的轉子設計，既節能又保持較低的工作溫度。安捷倫浮動懸浮系統可降低噪音和振動，並確保最佳的軸承工作條件，從而延長使用壽命、最大限度地減少系統停機時間並確保長期穩定的泵送性能。獨特的陶瓷球軸承具有永久潤滑功能，無需加油和維護，並允許泵浦在任何方向運行。安捷倫渦輪泵專為在實際應用中實現最佳性能而設計，其緊湊的尺寸可滿足具有嚴格空間要求的行業的需求。這些全新 Agilent TwisTorr 305 FS 渦輪幫浦只需極少的維護甚至無需維護。
有關 Agilent Varian FS AG 機架控制器的說明
Agilent Varian 機架控制器具有 RS232-485 連接器，是一款固態變頻器，可驅動 TwisTorr 渦輪泵、為冷卻風扇供電並驅動排氣閥。它提供並獲取寬範圍壓力表的壓力，並在停止命令後讀取速度讀數。機架控制器的 PDF 使用者說明手冊可在下方下載。
IDP-7 乾式渦旋低真空幫浦注意事項
全新安捷倫瓦里安 IDP-07 乾式渦旋真空幫浦專為極其安靜的環境而設計。 55 dBA 和低振動運行，在 60 Hz 頻率下提供 5.4 cfm (9.1 m3/h) 的峰值抽速，並產生 20 mTorr 的極限壓力。這些新型 Agilent IDP-07 乾式渦旋幫浦採用密封設計，適用於氦氣再循環以及真空爐和前級幫浦應用。密封設計提供了穿過泵浦的清潔氣體路徑，消除了任何油或油脂污染的風險，使馬達和軸承能夠在大氣壓力下運行，從而將它們與真空製程氣體或水蒸氣隔離。 Agilent IDP-07 支援全球單相電機，工作電壓範圍可在 50/60Hz 時在 100-120V 或 200-230 VAC 之間輕鬆切換。 IDP-7 的 PDF 使用者說明手冊可在側面下載。
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