Agilent Varian TPS-모바일 진공 시스템 w/ 305 FS 터보, ISO100 인렛, 모바일 카트에 IDP-07 건식 스크롤 펌프 포함

이러한 Agilent Varian TPS 모바일 시스템에는 255 l/s 펌핑 속도의 Agilent 305 FS 터보 펌프, ISO-100K 인렛 플랜지, IDP-7 건식 스크롤 러핑 펌프, 305-FS AG 랙 마운트 컨트롤러가 함께 제공됩니다. 플러그 앤 플레이, 완전한 자체 포함형 초고진공 펌핑 시스템으로, 플러그를 꽂고 펌핑하기만 하면 됩니다. 챔버나 진공 공정에 연결하는 데 필요한 하드웨어와 압력 게이지만 있으면 됩니다. CF 플랜지가 있는 Agilent 305 FS 터보 펌프는 궁극적 압력이 10-10 Torr 범위인 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다(모든 금속 흡입 씰 개스킷을 사용하고 진공 챔버가 완전히 깨끗하고 베이크 아웃된 경우). ISO-K 플랜지가 있는 Agilent 305 FS 터보 펌프는 (고무/엘라스토머 O-링 씰의 침투 및 가스 방출로 인해) 궁극적 압력이 10-8 Torr 범위로 제한됩니다. 이 펌프의 흡입 플랜지(CF 플랜지만 해당)는 터보가 수냉될 때 최대 100°C까지 베이크될 수 있습니다.

적용 분야:

• UHV 시스템 펌프 다운
• ION 펌프 러핑
• 램프 및 튜브 처리
• 크라이오펌프 재생
• 고진공 시스템 작동
• 고진공 및 초고진공 시스템 베이크 아웃

이 Agilent Varian TPS-mobile에는 다음 구성 요소가 포함되어 있습니다.

• Agilent Varian 305 FS TwisTorr 터보 분자 펌프, ISO-100 입구, 255 l/s
• Agilent Varian 305 AG FS 랙 컨트롤러, PN X3506-64130
• 랙 컨트롤러용 Agilent Varian 공기 냉각 팬 키트, PN X3500-68011
• Agilent Varian IDP-07 건식 스크롤 러핑 펌프, PN X3807-64010
• 스크린이 있는 ISO-100 인렛 센터링 링, 부품 번호 X3500-68000
• 바퀴가 달린 이동식 카트, 펌프 높이 조절 가능
• AC 전원 코드, 3m, 부품 번호 9699958

Agilent Varian 305 FS 터보 분자 진공 펌프에 대한 참고 사항
이 Agilent Varian TwisTorr 305-FS 터보 분자 고진공 펌프는 새롭게 설계된 미로형 Twistorr 드래그 스테이지 기술과 최적화된 열 설계 매핑과 함께 Agilent Floating Suspension(AFS)을 포함하여 새롭고 개선된 성능을 제공합니다. TwisTorr 드래그 단계는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해 높은 압축 비율을 생성하여 높은 처리량과 포어라인 압력에 대한 높은 허용 오차를 제공하므로 더 작고 경제적인 백킹 펌프를 사용할 수 있습니다. 이 기술은 에너지 효율적이고 낮은 작동 온도를 유지하는 소형 로터 설계로 이어집니다. Agilent Floating Suspension System은 소음, 진동을 줄이고 최적의 베어링 작동 조건을 보장하여 수명을 연장하고 시스템 가동 중단 시간을 최소화하며 장기간 안정적인 펌핑 성능을 보장합니다. 영구 윤활 기능이 있는 독특한 세라믹 볼 베어링은 오일과 유지 관리를 제거하고 모든 방향에서 펌프를 작동할 수 있습니다. Agilent 터보 펌프는 컴팩트한 크기가 엄격한 공간 요구 사항이 있는 산업의 요구를 충족하는 실제 응용 분야에서 최적의 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 이 새로운 Agilent TwisTorr 305 FS 터보 펌프는 최소한의 유지 관리가 필요하거나 전혀 필요하지 않습니다. TwisTorr 305 FS 터보 펌프의 PDF 사용자 지침서는 아래에서 다운로드할 수 있습니다.

Agilent Varian FS AG 랙 컨트롤러에 대한 참고 사항
Agilent Varian 랙 컨트롤러는 RS232-485 커넥터를 갖추고 있으며, 솔리드 스테이트 주파수 변환기이며, TwisTorr Turbo 펌프를 구동하고, 냉각 팬에 전원을 공급하고, 벤트 밸브를 구동합니다. 광범위한 게이지의 압력을 제공하고 수집하며, 정지 명령 후 속도 판독값을 제공합니다. 랙 컨트롤러의 PDF 사용자 지침서는 아래에서 다운로드할 수 있습니다.

IDP-7 건식 스크롤 러핑 펌프에 대한 참고 사항
새로운 Agilent Varian IDP-07 건식 스크롤 진공 펌프는 매우 조용한 < 55 dBA 및 낮은 진동 작동을 위해 설계되어 60Hz에서 최대 펌핑 속도 5.4cfm(9.1m3/h)을 제공하고 최대 압력 20mTorr를 생성합니다. 이 새로운 Agilent IDP-07 건식 스크롤 펌프는 밀폐형이며 헬륨 재순환과 진공 오븐, 백킹 펌프 애플리케이션에 적합합니다. 밀폐형 설계는 펌프를 통과하는 깨끗한 가스 경로를 제공하여 오일이나 그리스 오염 위험을 없애 모터와 베어링이 대기압에서 작동할 수 있도록 하여 진공 공정 가스나 수증기에 노출되지 않도록 합니다. Agilent IDP-07은 50/60Hz에서 100-120V 또는 200-230VAC 사이에서 쉽게 전환할 수 있는 작동 전압 범위를 위한 글로벌 단상 모터를 지원합니다. IDP-7에 대한 PDF 사용자 지침서는 다운로드를 위해 옆에 있습니다.