Agilent Varian 563 ガラスイオンタングステンフィラメントゲージ KF25 NW25 コバールフランジ、PN K2466306
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PN:K2466306
これらのイオンゲージチューブには、KF25 NW25 Kovar フランジ真空接続があり、動作範囲は 1x10-3 ～ 2x10-10 Torr です。これらのイオンゲージチューブは、最新の熱陰極イオンゲージチューブのほとんどと互換性があります。感度は Torr-1 で、標準動作電圧 (コレクター 0 VDC、グリッド +180 VDC、フィラメント +30 VDC、フィラメント電圧 4 VAC) です。 高真空および超高真空の範囲では、プラチナ シールドにより外部電界が低イオン電流に影響を及ぼすのを防ぎます。生成されるイオンの数が非常に多い高圧の範囲では、プラチナ導電性コーティングによりガラス管の内側に蓄積される静電気を排出します。したがって、563 管は管の全範囲にわたって優れた性能を発揮します。
当社の交換用イオン ゲージ管は、Granville Phillips、MKS Instruments、Perkin Elmer、Varian、および Veeco 製のほとんどの熱陰極イオン ゲージ コントローラーで動作します。 Agilent Varian 563 イオンゲージの取扱説明書については、以下のダウンロード可能なファイルから .pdf をダウンロードしてください。
通常、次の機種で動作します:
Granville Phillips モデル 260、270、280、303、306、307 330、340、350 など。
MKS Instruments 290、919、929
Perkin Elmer DGC3
Varian 831、836、842、844、845、880、971-0003、971-0014、971-1008、マルチゲージ、Varian 572 チューブK7360301
Veeco RG2、RG3、RG21、RG31、RG81、RG83、RG84、RG830、RG840、RG1000、RG1002
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