Agilent Varian 531 热电偶真空压力测量仪表管传感器，1/8 英寸 NPT，SS，PN F0472303
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Varian 部件编号 F0472303
热电偶真空压力计，Wikapedia.org 提供
热导率计依赖于气体导热能力随压力降低这一事实。在这种类型的压力计中，通过电流加热丝状物。然后可以使用热电偶或电阻温度检测器 (RTD) 测量丝状物的温度。该温度取决于丝状物向周围气体散热的速率，因此取决于热导率。一种常见的变体是皮拉尼压力计，它使用单个铂丝作为加热元件和 RTD。这些压力计的精度为 20 Torr 至 10−3 Torr（取决于所购买的传感器和控制器的型号）。然而，它们对被测气体的化学成分很敏感，被称为相对压力测量方法，也就是说，它们根据气体介质的热导率特性间接确定压力。
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